・２０１７年（第１８回）
・２０１６年（第１７回）
・２０１５年（第１６回）
・２０１４年（第１５回）
・２０１３年（第１４回）
・２０１２年（第１３回）
・２０１０年（第１２回）
・２００９年（第１１回）
・２００８年（第１０回）
・２００７年（第９回）
・２００６年（第８回）
・２００５年（第７回）
・２００４年（第６回）
・２００３年（第５回）
・２００２年（第４回）
・２００１年（第３回）
・２０００年（第２回）
・１９９９年（第１回）
１９９９年（第１回）
【最優秀賞 文部科学大臣賞】
●
21世紀を駆け抜ける日本であり続けるために
【優秀賞】
●
日本人の創造性とマイクロマシン
●
希望としての科学技術
【特別賞】
●
最先端技術の開発と熟練技術の継承
